名词解释

首次全掩膜工程产品流片

首次全掩膜工程产品流片是当整个芯片设计定型,工艺流程跑通,process flow和各个recipe基本确定之后首次完整的验证性流片,整片wafer全部都是这一种芯片,完成后要依次通过良率,可靠性,失效分析等测试,根据测试结果有针对性的进行改进,继续流片。最终没问题后才能转入量产。

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